低溫等離子體凈化法

低溫等離子體是繼固態、液態、氣態以后的物質第四態，當外加電壓到達氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，發生包含電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中盡管電子溫度很高，但重粒子溫度很低，全部系統呈現低溫狀況，所以稱為低溫等離子體。等離子廢氣凈化器降解污染物是使用這些電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分化，并發生后續的各種反應以到達降解污染物的意圖。